量測項目
- 絕對反射率光譜解析
- 多層膜解析(5層)
- 光學常數解析(n:折射率、k:消光係數)
規格樣式
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※2比對VLSI標準樣品(100nm SiO2/Si),範圍值同保證書所記載
※3量測VLSI標準樣品(100nm SiO2/Si)同一點位時之重複再現性。(擴充係數2.1)
量測範例
※2比對VLSI標準樣品(100nm SiO2/Si),範圍值同保證書所記載
※3量測VLSI標準樣品(100nm SiO2/Si)同一點位時之重複再現性。(擴充係數2.1)
量測範例
- PET基板上的DLC膜
- Si基板上的SiNx
應用範圍
- 半導體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)
- 光學薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)