產品特色
- 非接觸式膜厚測定必要的機能集中在一個量測頭
- 高精度、高再現性量測紫外到近紅外波長絕對反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率、k:消光係數)
- 單點對焦加量測於1秒內完成
- 顯微分光下廣範圍的光學系統(紫外 ~ 近紅外)
- 初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式
- 獨立測定頭對應各種inline客製化需求
- 最小對應spot約5μm
量測項目
- 絕對反射率分析
- 多層膜解析
- 光學常數(n:折射率、k:消光係數)
規格樣式
量測範例
- 高透明度基材的裏面反射
- 紫外光的極薄膜測定
- 近紅外光的有色膜測定
- 初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式
- 自動XY stage規格,面內25點測定1分內完成
應用範圍
- FPD:LCD、TFT、OLED(有機EL)
- 半導體、複合半導體:矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料
- 資料儲存:DVD、磁頭薄膜、磁性材料
- 光學材料:濾光片、抗反射膜
- 平面顯示器:液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
- 薄膜:AR膜
- 其它:建築用材料